
Vorteile
Das Prozessüberwachungsmodul wird zwischen dem Regelmodul und dem Werkzeug positioniert. Die eingeleitete N2-Menge und die zurückgeführte N2-Menge werden exaktgemessen.
Dadurch ist das System in der Lage, Gasdurchbrüche, Injektorverunreinigungen und Werkzeugleckagen zu erkennen.
Erstmalig kann der Verarbeiter seinen Gasverbrauch ermitteln und überwachen.
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